Neo Trend Ltd. 廣廉股份有限公司 LOGO
Neo Trend 廣廉股份有限公司產品頁橫幅

DICING SAW / BLADE DICING

晶圓切割機、切割刀片與磨刀板

廣廉提供晶圓切割設備、切割刀片及磨刀板之製程需求評估、加工測試、設備選型及導入後技術服務,協助客戶依材料、厚度、晶粒尺寸與品質條件規劃適合的刀片切割方案。

晶圓切割機使用鑽石刀片進行 Blade Dicing 晶粒分割加工

半導體刀片切割製程

晶圓切割(Wafer Dicing),是利用高速旋轉的精密鑽石刀片,沿著晶圓上的切割道進行加工,將完整晶圓分割成單顆晶粒(Die)的製程。

加工過程通常使用去離子水(DI Water),並可搭配超純水抗靜電處理系統,進行冷卻、潤滑與切屑沖洗。刀片種類、主軸轉速、進給速度、切入深度、冷卻水條件及材料特性,都會影響崩邊、裂紋、刀痕、切割道寬度與晶粒強度。

STEP 01

貼膜與固定 Mounting

將晶圓固定於切割膠帶與晶圓框架,確認貼附品質、平整度及後續搬送條件。

STEP 02

對位與切割 Alignment & Dicing

辨識切割道並依設定路徑進行切割,控制刀片、主軸、進給與冷卻水等加工條件。

STEP 03

清洗與檢查 Cleaning & Inspection

去除切屑與加工殘留物,並檢查切割道、崩邊、裂紋及晶粒外觀品質。

切割製程周邊設備

晶圓切割的穩定性除了取決於主機、刀片及磨刀板,也與切割水電阻值、水溫、水量及主軸冷卻條件有關。廣廉可協助評估下列周邊設備:

NGK MEGCON CO2 Bubbler 超純水抗靜電處理系統

NGK 超純水抗靜電處理系統

MEGCON CO₂ Bubbler

透過將微量 CO₂ 溶解於 DI 水/超純水中控制電阻率,降低切割與清洗過程中的靜電缺陷風險,適用於 Dicing 等半導體製程。

查看 NGK 超純水抗靜電處理系統
半導體專用冰水機 Chiller 水溫控制器與切割主軸冷卻設備

半導體專用冰水機

Chiller / Water Temperature Control

穩定供應切割製程與設備冷卻所需的水溫及水量,並可用於切割主軸冷卻,協助維持加工條件、切割品質及刀片使用穩定性。

查看半導體專用冰水機與水溫控制器

切割刀片與磨刀板

除了晶圓切割設備,廣廉亦可依加工材料、工件厚度、切割品質與設備條件,協助評估切割刀片及磨刀板。耗材與製程條件需搭配選擇,才能維持切削能力與加工穩定性。

晶圓切割刀片

Dicing Blade / Diamond Blade

切割刀片的粒度、結合劑、厚度、刀刃露出量及適用主軸形式,會直接影響切割速度、切割道寬度、崩邊與刀片壽命。可依矽晶圓、化合物半導體、陶瓷、玻璃或封裝基板等材料進行選型評估。

磨刀板

Dressing Board

磨刀板用於切割刀片的修整與磨銳,協助去除刀刃表面的堵塞物並恢復磨粒露出狀態。選用時需配合刀片種類、加工材料、修整方式及設備條件,以維持穩定的切削性能。

刀片切割應用範圍

刀片切割技術成熟、加工效率高且適用材料廣泛,可應用於晶圓、元件、基板及複合材料的精密分割。

矽晶圓與 IC 晶粒分割
二極體、MOSFET、IGBT 等功率元件
LED 與光電元件切割
MEMS 感測器與微結構元件
陶瓷、玻璃及脆性材料基板
封裝基板與模組分割
化合物半導體與特殊材料
研發試片與少量多樣加工

刀片切割與雷射切割的選擇

刀片切割與雷射切割各有適用條件。應依材料特性、晶圓厚度、切割道寬度、熱影響、崩邊容許度、產能與成本要求評估,不應僅以單一加工方式判斷。

晶圓切割設備選型重點

切割品質由設備、刀片、材料與製程參數共同決定,設備評估需從實際樣品及品質要求出發。

工件與材料條件

晶圓或基板尺寸、厚度、材料、表面結構、切割膠帶、框架與支撐方式。

切割品質目標

切割道寬度、崩邊、裂紋、毛邊、側壁品質、晶粒尺寸與破損容許條件。

加工條件與產能

刀片規格、主軸與進給條件、切割深度、加工節拍、換線需求及自動化程度。

清洗與製程整合

冷卻水、切屑排除、切割後清洗、乾燥、檢查、搬送及廠務條件整合。

實際可達成的切割品質與產能會受到材料、刀片、工件結構、設備配置及製程參數影響,建議透過樣品加工測試確認。

廣廉的技術與服務優勢

廣廉技術服務團隊涵蓋銷售工程師、應用工程師及設備工程師。核心技術人員來自家榮(HappyPole)公司,於半導體設備服務領域累積超過 25 年經驗,具備設備原廠專業訓練基礎,以及多年裝機、移機、調機、維修與現場保養經驗。

團隊熟悉業界主流晶圓切割、研磨及雷射加工設備,可依材料、尺寸、切割品質、產能及前後段製程需求,協助進行設備介紹、切割刀片與磨刀板選型、應用評估及加工測試。

設備需求與製程條件確認
樣品加工測試與選型建議
設備安裝、調機及測試
操作訓練、維修保養與零配件支援

晶圓切割設備、刀片與磨刀板需求洽詢

如需設備介紹、切割刀片、磨刀板、加工測試、選型或技術服務,歡迎來信: info@ntl.com.tw, 加入 LINE:@neotrend, 或致電:(02)2365-7517

實際設備型號將依客戶規格與製程需求,進行個別評估與推薦。