OKK 晶圓轉換器產品介紹
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晶片傳送機 / 晶舟轉換器 / 晶圓轉換器
- 順暢、精密、快速傳輸
- 基座微小接觸，減少晶圓壓力與污染
- 馬達驅動，防止粉塵產生
- 防震傳送機構，支援複合晶圓安全轉送
- 可選配電子式靜電消除器
- 機型選擇：
- OTS-15：直立式單基座
- OTS-25：雙基座桌上型
- OTS-35：三基座桌上型