OKK UV 解膠機產品介紹(UV Irradiation System / UV Curing System)
本系列產品為 UV Irradiation System / UV Curing System,適用於半導體封裝、晶圓解膠與先進製程需求。
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手動 UV 解膠機(Manual UV Curing Systems)
本機型採用特殊黑燈管,可支援 UV 切割膠帶與 UV 研磨膠帶的專業解膠設備,具備自動照射時間計算與功率監控功能,並可加裝氮氣(N₂)模組以提升解膠穩定性。適用晶圓尺寸為 2 至 12 吋,廣泛應用於半導體封裝與晶圓製程中的膠帶去除作業。
- 支援 UV 切割膠帶與 UV 研磨膠帶
- 自動計算照射時間、監控功率
- 可加裝 N2 以提升穩定性
- 適用尺寸:2~12 吋

手動 LED UV 解膠機(Manual LED UV Curing Systems)
本機型支援 UV 切割膠帶與 UV 研磨膠帶的專業解膠設備,採用雙波長 LED 設計,操作簡便,適用於 2 吋至 12 吋晶圓與各類基板。且具備自動照射時間計算與功率監控功能,並可加裝氮氣(N₂)模組以提升解膠穩定性,廣泛應用於半導體封裝與晶圓製程中的膠帶去除作業。
- 雙波長 LED 設計,對應多種膠帶
- 操作簡單,多種照射模式
- 支援 2~12 吋晶圓與基板
- 可即時監控照射功率

全自動高壓水銀 UV 解膠機(Fully Automatic High pressure Hg Lamp UV Irradiation System)
本機型支援 UV 切割膠帶與 UV 研磨膠帶的專業解膠設備,具備旋轉平台設計,支援多段 UV 照射模式與即時功率監控,自動切換晶圓尺寸,適用於 2 吋至 12 吋晶圓的解膠與封裝前製程。
- 旋轉平台設計,均勻照射
- 自動尺寸切換 / 操作簡便
- 支援多段照射模式與即時監控
- 對應尺寸:2~12 吋晶圓

全自動 UV 晶圓解膠機(Fully Automatic Black Light UV Curing System)
本機型支援 UV 切割膠帶與 UV 研磨膠帶的專業解膠設備,支援多種膠帶與晶圓材料,具備高均勻性 UV 照射能力,對應 SECS/GEM 通訊協議,並支援 2 吋至 12 吋晶圓自動尺寸切換,適用於高階封裝與晶圓前段製程。
- 適用多種膠帶與晶圓材料
- 高均勻性照射與監控系統
- SECS / GEM 對接(選配)
- 2~12 吋自動切換