全自動 FOUP 開蓋機
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全自動 12 吋 FOUP 開蓋機,以符合人體工學方式設計,簡單的操作模式,用全自動方式開關 FOUP 的門,讓產線 OP 或工程師能夠方便且無風險的取放 Wafer。
有桌上型或落地型的機種可以選擇,只要是符合 SEMI 300mm 規範的 FOUP 皆可使用。
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